半導体検査

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レーザ開発の最前線を躍進

Lumentum は、超安定 CW および QCW システムを用いた高精度の半導体検査に向けたレーザ開発の最前線にいます。こうしたレーザは高速ウエハ検査に最適であり、ナノメートルスケールの欠陥や汚染を検出する機能を製造メーカーに提供しています。